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Précision 1.0 Micro débitmètre de chaleur débitmètre massique de chaleur contrôleur de débitmètre massique

Micro débitmètre massique de gaz thermique
1. Faible débit, petit débit de gaz, minimum 5 ml/min (état standard)
2. Le milieu gazeux doit être sec et propre, et ne contient pas d'impuretés telles que l'eau et l'huile.
3. Sans contact, sans pièces mobiles, pièces à écoulement libre, faible perte de pression, haute fiabilité
4. Mesure directe du débit massique sans compensation de température et de pression
État de disponibilité:
Quantité:
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12


Exigence moyenne :
Gaz propres, secs et non corrosifs
Type de support :
Air, azote, oxygène, dioxyde de carbone, hélium, hydrogène, méthane, argon, etc.
gamme:
0- 20,50,100,200,500) SCCM (0~1, 5, 10,50,100, 200, 500, 800) slm
précision:
0,01 sccm,100 sccm 1 sccm,1slm 0,01 slm,>5slm
Distinguabilité :
Minimum 0,01SCCM
Temps de réponse:
10 ms
précision répétée :
≤ ± 0,2 % FS
Tension de tenue maximale :
1MPa
Matériau du corps :
Base : Alliage d'aluminium aviation (lot d'acier inoxydable 316L en option)
Coque : alliage d'aluminium


3456

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